许小亮
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Micron-nano Functional Materials Group, Department of Physics, University of Science and Technology of China
“已具备实验条件”:是可在本组和科大物理系进行的实验。包括:薄膜的制备,低温或常温光致激发谱以及自清洁效率的测试等。本课题组有完善的块材和薄膜样品制备条件和光学测试设备,制备薄膜有多靶磁控溅射设备(真空度为2×10-5 Pa、基片可加热到850℃并可旋转)和电子束蒸发度膜装置; 也拥有一整套化学液相法(sol-gel法、电化学沉积、超声波辅助喷涂法等和18兆去离子水装置)生长薄膜装置以及大型恒温恒湿箱、太阳全谱发射台等生长和检测环境增强设备。光学测试设备有非线性光学测试系统、紫外光谱仪、对紫外光灵敏的CCD阵列、CCD图像处理系统,光学显微镜,接触角和滚动角测试仪,扫描近场光学显微镜 (SNOM)等。光学冷加工车间两间,备有常用的各类光学调整元件。
“尚缺少的实验条件”:由于有些设备昂贵不宜自购设备,而必须在外单位所做的实验。因此须付一定的测试费用,包括: SIMS(二次离子质谱)、XPS、 XAFS,以及高分辨电镜等测试设备;我们与国家同步辐射实验室,中国科学技术大学结构分析开放实验室和中国科学院固体物理研究所、中国科学技术大学内耗与固体缺陷开放研究实验室以及香港科技大学结构分析开放实验室有长期合作的良好基础,可充分利用他们的各种精确测量和分析多层膜微结构和界面结构的大型仪器:如同步辐射高分辨掠入射X射线反射装置、椭偏仪、高精度小角度X射线衍射仪、原子力显微镜、喇曼光谱、高分辨XAFS、高分辨电镜等测试设备。
部分实验仪器图片:
磁控溅射装置 |
电子束蒸发 |
恒温恒湿箱 |
管式炉 |
接触角测量仪 |
原子层沉积系统 |