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一种平面双角闪耀光栅的制作方法
Release time:2021-07-24
Hits:
- Affilication of Author(s):
- 中国科学技术大学
- Disigner of the Invention:
- qiukeqiang,liuzhengkun,xuxiangdong,hongyilin,fushaojun
- Patent description:
- 发明公开
- Service Invention or Not:
- no
- Publication Date:
- 2019-09-17
- First Author:
- 陈智文
- Pre One:一种等离子体刻蚀装置及其扩散装置
- Next One:一种平面基底变间距光栅的线密度测试系统及测试方法